ESEM是环境扫描电子显微镜(EnvironmentalScanningElectronMicroscope)的英文缩写。由于在它物镜的下极靴处装有一压差光阑(pressurelimitedaperture),使得在保证电子枪区高真空的同时,允许样品室内有气体流动,最高达50Torr,一般1Torr~20Torr,因此,ESEM的问世,把人们引入了一个全新的形态学观察的领域。
标签:电子显微镜
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