空气的介电常数是:εr=1.00053。
介电常数是反映压电智能材料电介质在静电场作用下介电性质或极化性质的主要参数,通常用ε来表示。不同用途的压电元件对压电智能材料的介电常数要返隐求不同。当压电智能材料的形状、尺寸一定时,介电常数c通过测量压电智能材料的固有电容CP来确定。
应用
近十年来,半导体工业界对镇戚低介电常数材料的研究日益增多御世陵,材料的种类也五花八门。然而这些低介电常数材料能够在集成电路生产工艺中应用的速度却远没有人们想象的那么快。其主要原因是许多低介电常数材料并不能满足集成电路工艺应用的要求。图2是不同时期半导体工业界预计低介电常数材料在集成电路工艺中应用的前景预测。
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